★ 本機詳細技術(shù)參數(shù)及特點：

1.整機設(shè)計合理緊湊，可放置手套箱里。

2.不銹鋼外殼防腐，不銹鋼涂特氟龍接膠臺容易清理打理。

3.采用4.3英寸的觸摸彩色顯示屏。參數(shù)設(shè)置簡易操作。

4.獨特的程序設(shè)計，轉(zhuǎn)速帶自檢功能，可糾正電機因環(huán)境和溫度變化而產(chǎn)生轉(zhuǎn)速值偏離，大大提高勻膠轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和準確性。

5.穩(wěn)定轉(zhuǎn)速范圍：500~8000轉(zhuǎn)/分，可編程。

6. 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：＜±1%

7.涂膠時間范圍：1~99秒，可編程。

8.電機功率：40W

9.數(shù)據(jù)記錄功能，能存儲10種旋涂程序，每步程序分8段可設(shè)置16個參數(shù)值；多達160個參數(shù)設(shè)置，及方便設(shè)定速度和加速度程序段，可存儲可任意設(shè)置。 

10. 真空托盤：具有多種材質(zhì)和規(guī)格轉(zhuǎn)換真空托盤，適合φ5~150mm，或125mm×125mm方片的基片涂覆。

11.配套無油型真空泵系統(tǒng)，壓強抽氣速率＞60L/min

12.儀器尺寸：260×220×260 mm 

13.凈重：7.5Kg。

Spin-51型勻膠機適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝，主要應(yīng)用于實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

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